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GaN基LED的开展史与面对的技能应战

发布时间:2022-08-05 15:47:36 来源:米乐m6官网

  :1879年10月22日,托马斯.爱迪生点着了榜首盏白炽灯,此举改动了国际上每一个人的日子,从此,人类逐步开始运用无焚烧、无烟、无味的光源。时至今日,地球上正在运用的灯泡有300亿个,每年共耗费约2650TWh,占全球电能总耗费的百分之十九。近些年来,受国家节能减排方针的影响,

  1907年,Henry Joseph Round宣布了历史上榜首份半导体发光效应的陈述。1929年,俄罗斯无线电技能人员Oleg Vladimirovich Losev 取得了榜首个LED专利。直到1962年,榜首个红光LED才面世(Nick Holonyak与S.F.Bevacqua创造)。自此,LED技能迅猛开展,1968年,榜首款商用LED只能宣布0.001lm的红光,现在已呈现了亮度超越100lm的商用高亮度白光LED。在曩昔的三十年中,单个LED的光通量每18至24个月增加一倍,一起,单个器材的价格每十年下降至本来的十分之一。这一规则被Roland Haitz初次发现,所以被成为“Haitz规律”。如图1【1】所示。

  电照明在改动人类日子的一起,也带来巨大的能耗,随之而来的是巨大的CO2排放,据估计,在白炽灯和荧光灯主导的时代,全国际每年用于照明的耗电量为2650TWh,占全球发电量的19%。半导体照明不光自身对环境不构成污染,而且,同传统的白炽灯、荧光灯比较,节电功率可达90 %以上,假如白光LED的功率在2025年之前可以到达200lm/W,它极有期望替代现在的荧光灯,估计每年可节省10亿桶石油(适当于削减250个大型核电站的发电量)。与传统照明方法比较,LED具有以下长处:

  4.操控便利,只需调整电流便可随意调光,不同光色的组合改变无常,运用时序操控电路,可以完结五光十色的动态改变作用。

  LED的中心部分是由P型半导体和N型半导体组成的PN结。正向偏置时,N型区很多的电子跨过下降的势垒注入到P型区一侧的准中性区(大都载流子注入),随后,进入N型区的电子与P型区的大都载流子空穴产生复合,电子空穴复合进程中会产生光子;与此一起,在P型区的很多的空穴也注入到N型区一侧的准中性区内与N型区的电子产生复合而宣布光子,完结电能到光能的转化。

  像Si这样的直接带系半导体中,因为电子和空穴的晶格动量不同,所以在带间跃迁的时分,难以坚持动量的守恒,因而在直接带隙半导体中的复合首要总过R-G复合中心产生,复合进程中开释的能量转化为热能。另一方面,如GaN这样的直接带隙半导体,电子和空穴的晶格动量近乎持平,这使得注入的大部分载流子凭借与带间复合而消除,复合进程中开释的能量转化为光能,光子一旦逃逸出二极管,就成为LED所发的光。

  又C=λν,输出波长的峰值大约为λg=1.24/Eg。要产生可见光,输出的光波长 λg有必要处于0.4μmλg0.7μm的范围内,也便是1.77eVEg3.10eV。

  由此可以揣度,制作可见光LED的半导体资料至少要满意三个基本条件【2】:榜首,要为直接带隙半导体;第二,禁带宽度Eg应满意1.77eVEg3.10eV;第三,要简单构成pn结。除以上三条基本条件外,发光复合率大、可取得完整性好的优质晶体也是重要的资料选择准则。可是,适得其反的是,几乎没有半导体能一起满意以上条件,GaP、AlAs、SiC都具有适宜的禁带宽度,可是它们都是直接带隙半导体;直接带隙半导体GaA能带宽度又过小;许多Ⅱ-Ⅳ族化合物半导体既是直接带隙半导体,又具有适宜的禁带宽度,可是却不易构成pn结。因为没有半导体可以一起满意以上要求,所以市面上的LED采用了半导体合金和“光增强”中心。

  从前,GaAsP 、AlGaAs、SiC等被作为干流LED的制作资料,并取得了适当的成果。做为第三代半导体代表的GaN是直接跃迁型半导体资料,具有的禁带宽度大、电子迁移率高(是其长辈SiC的2倍)、无微管缺点、击穿电场高级许多优秀的功能。可是在适当长的一段时间内,【3】GaN资料因为遭到没有适宜的单晶衬底资料(蓝宝石衬底与GaN的晶格失配高达14%)、位错密度太大(约为ZnSe资料的107倍)、n-型本底浓度太高(1018/cm3)和无法完结p-型掺杂等问题的困扰,曾被认为是一种没有期望的资料,因而开展十分缓慢.进入90时代之后,跟着资料成长和器材工艺水平的不断开展和完善,GaN基器材的开展十分迅速,现在已经成为宽带隙半导体资料中一颗十分耀眼的新星。

  表1【4】为国际首要LED厂商以及其首要产品,由表得知,GaN基LED已然成为各大出产商竞相研讨、出产的主打产品。GaN成为制作LED的干流资料。

  1991年,日亚公司研发成功同质结GaN基蓝光LED,峰值波长430nm,光谱半宽55rim,其光输出功率为其时市场上SiC LED的10倍,外量子功率约为0.18%。

  同质pn结资料间的折射率之差很低,光的阈值也很低。异质结构可以进步功率,如图4所示为日本日亚公司于1994年研发的GaN基双异质结蓝光LED的结构示意图,图中,双异质结结构把电子和空穴约束在发光层内,Zn作为辐射复合中心,双异质结注入的电子、空穴经过Zn能级复合发光。pn结资料与中心活性层(以掺Zn、的InGaN作为发射蓝光的器材有源层和AlGaN阻挡层)资料不同,带隙较高,层与层之间折射率之差较大,所以辐射的光很强,光谱的半高宽较窄,易取得愈加纯的单色光。

  日亚公司又于1995年研发出一种单量子阱结构的GaN基LED,即在有源层刺进InGaN薄膜(厚度与德布罗意波长同数量级),使阱层中的载流子遭到一维约束,产生能带割裂,复合进程被很好地约束在活性层,所以发光亮度大大增强。如图5所示。

  GaN的制构本钱十分昂扬。短少适宜的、大面积的衬底是约束GaN器材开展的严峻的妨碍,现在,Al2O3蓝宝石做为最遍及的衬底资料用于实践的制作业。可是蓝宝石是绝缘体,器材需求横向规划,与笔直器材比较遭到击穿电压约束,而且得到的高功率密度器材的体积也很大。为了处理这个问题,一些科学家正在进行有利的测验,企图以Si做为衬底,并取得了一些发展。别的,蓝宝石与GaN的晶格失配率高(晶格参数无外延联系时为-33%,有外延联系时为16%)这一问题也靠成长缓冲层这一行动得到了改进。

  用受体原子掺杂GaN难以取得高浓度的空穴,现在通用的做法是用镁作为掺杂剂【5】,因为掺杂了镁的GaN在电子束曝光的激活下可以构成pn结,可是掺杂了镁的GaN电阻率很高,而且镁的激起能级较深(Ea=200meV),P型杂质无法在T=300K时彻底电离,因而为了取得较高浓度的空穴,需求掺杂很多的镁,可是过量的镁又会导致主动补偿效应产生,资料将会取得绝缘性。因为镁的激起能级较深,在T=300K时,镁的电离率只要百分之几,而且空穴迁移率(μp=10cm3/v/s)低于电子迁移率(μn=200cm3/v/s),所以假如运用规范pn结,复合产生的首要场地点P型区。

  【3】梁春广,张冀. GaN——第三代半导体的曙光[J].半导体学报,1999,2:89-99