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发布时间:2022-07-16 02:29:37 来源:米乐m6官网

  近来,由南昌大学资料学院博士生刘冠鹏担任的“芯像视成”项目,在第七届江西省“互联网+”大学生立异创业大赛中取得金奖。该项目依托南昌大学国家“双一流”建造学科和南昌大学国家硅基LED工程技能研讨中心,致力于MicroLED无掩膜光刻机技能研讨与落地转化,将助力我国半导体和无掩膜光刻相关技能的研讨与产品开发。

  光刻机作为微电子配备的龙头,是芯片IC和PCB电路板制备技能的中心设备。跟着电子技能的开展,电路板和芯片的需求越来越大,获益于下流需求旺盛,光刻设备有望量价齐升带动商场空间不断增加。就连PCB线路板制作用的中低端紫外光刻机也受制于人。此外PCB线路板制作、半导体出产及高精密细线路曝光等都需求很多的掩膜来进行特定图形的曝光。掩模板制作杂乱、周期长、费用贵重,一旦完结无法修正,这些缺点严峻约束了电子职业的开展。无掩膜光刻设备成为PCB板、半导体职业开展的必然选择。

  该项目参照传统光刻的原理,一起使用能实时投影出动画的MicroLED微型显现器芯片,提出选用MicroLED微型显现器芯片投影的方法直接在基板上投影出想要光刻的电路图画。为了下降掩膜制作和光刻加工的本钱,项目开发和制作了根据MicroLED微显现芯片的无掩膜紫外光刻机。它具有四个特色,即无掩,无需掩膜版,经过投影的方法直接成像进行光刻;高光,可以削减曝光时刻;特供芯片独家供给;微体,光源和图画操控部分制作在一个IC上,无需外加光源,使得器材体积可减小70%。现在该项目研制的无掩膜光刻机现已可以完成杂乱PCB电路板的光刻。

  该项目团队使用自主研制和制备的自发光MicroLED芯片,在光刻设备技能原理进步行了立异,开发和制作了根据MicroLED数字光芯的无掩膜光刻机,成功完成杂乱PCB电路板的无掩膜光刻。